氟化銨(AmmoniumFluoride)
氟化銨 (Ammonium Fluoride)

氟化銨(NHF)在半導體製程中是一種重要的化學藥劑,主要應用於濕法蝕刻和清洗步驟,尤其在矽(Si)和二氧化矽(SiO)的處理中具有關鍵作用。

詳細介紹

氟化銨在半導體製程中常與氫氟酸混合形成緩衝氧化蝕刻劑;作為緩衝劑,作用為穩定氫氟酸的濃度,避免蝕刻速率過快導致不均勻。

其核心價值在於其可控性與選擇性,尤其在先進製程中對奈米級薄膜的精確處理至關重要。

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  • 包裝形式:槽車、200L桶裝、20L Pail、加侖瓶。