緩衝蝕刻液被廣泛用於製造過程中的多個階段,例如:
- 介電層的蝕刻:SiO₂作為介電層,BOE可以精確地移除這些層,確保電路的完整性。
- 表面清潔:在製程中,可以用於清潔和去除表面污染物,保持晶圓的純淨度。
- 僑力可客製化不同配比的緩衝蝕刻液
- 可生產ppt等級的緩衝蝕刻液
- 包裝形式:槽車、200L桶裝、20L Pail、加侖瓶
緩衝蝕刻液(Buffered Etching Solution)主要用於精確控制蝕刻速率和提高蝕刻均勻性,主要用於蝕刻二氧化矽(SiO₂)層,這是半導體製程中的關鍵步驟之一。
化學反應式如下:
SiO₂ + 4HF + 2NH₄F → (NH₄)₂SiF₆ + 2H₂O
緩衝蝕刻液被廣泛用於製造過程中的多個階段,例如: