緩衝蝕刻液(BufferOxideEtchant,BOE)
緩衝蝕刻液(Buffer Oxide Etchant, BOE)

緩衝蝕刻液(Buffered Etching Solution)主要用於精確控制蝕刻速率和提高蝕刻均勻性,主要用於蝕刻二氧化矽(SiO)層,這是半導體製程中的關鍵步驟之一。

化學反應式如下:

 SiO₂ + 4HF + 2NH (NH)SiF + 2H₂O

詳細介紹

緩衝蝕刻液被廣泛用於製造過程中的多個階段,例如:

  1. 介電層的蝕刻:SiO作為介電層,BOE可以精確地移除這些層,確保電路的完整性。
  2. 表面清潔:在製程中,可以用於清潔和去除表面污染物,保持晶圓的純淨度。
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